最先端ラインの概要

300mmウエハーライン

300mmとは、ウエハーの直径の長さを表し、約12インチになります。

現在の主流である200mm（8インチ）ウエハーに較べ約2・25倍のチップ生産能力があり、量産化により約30％のコスト削減が見込まれています。


ウエハー比較


ウエハーサイズの変遷

90nm超微細化プロセス

300mmウエハーラインでは、90nmの超微細化の銅配線プロセスを採用します。この微細化プロセスは、サッカー場一面に0.5mm間隔で正確に線を描くのと同程度の精度を要します。また、チップの素子と素子を結ぶ配線は、一般的なアルミニウム配線に較べ、銅配線は電気抵抗が約半分になるため、省電力と高速化が可能となります。